万华10吨乙硅烷产线年底投产
展望科技未来,手机、电脑、物联网、5G、AI、汽车电子、区块链及AR/VR等多项创新应用将推动芯片行业长效迅猛发展。乙硅烷是芯片先进制程及相关高阶工艺制程的关键材料,伴随半导体新技术新制程的更迭,14nm、7nm等芯片对乙硅烷的需求量越来越大。目前,国内企业面临着技术壁垒,市场被国外企业高度垄断。
“随着乙硅烷产□□线投产,这一技术壁垒☆将被打破。”近日,烟台万华电子材料有限公司(以下称万华电子材料)负责人介绍。2022年该项目正式开□□□工建设,设计乙硅烷产□□□能50吨/年。目前,该项目一期大□□□部分单体完成□□□□主体结构,10吨乙硅烷产线□□□预计年底投产。
高纯乙硅烷主□□要应用于3D NAND存储芯片制造。3D NAND芯片制造形象□□一点理解就是□□万丈高楼“平面”起,“楼体”结构越复杂,就越需要更高•的深宽比及更◥好的薄膜叠层□□沉积与外延生□□□长,这对于芯片制□□造过程中“沉积膜的厚度★和均匀性、高深宽比孔道□□□□的均匀覆盖”等指标有较高□□□要求,高纯乙硅烷将□□凭借其优势成·为该工艺不可□□替代的沉积材□□□□料。如今,3D NAND已从最初的24层已经发展到□□□□了300层,专家预测其可△以堆叠到1000层。未来三星、SK海力士、铠侠、美光、长江存储等全♦球主要存储厂□□□商的层数和产□□□□能大战还将继◎续,电子特气的总□□□□体市场在不断●扩大,乙硅烷的市场□□□□需求也将进一□□□□步增加。
近年来,随着社会科技□□□水平和人们生□□□□活水平的提高,在芯片制造和□□太阳能电池等◥领域中,电子特气已然□□□□站在了目前最○热的产业赛道。为拓展半导体◇上游产业链,bifa必发集团发起成立●了万华电子材料,专门进行大规□□□模集成电路行□□业和光电科技□□□□领域中“卡脖子”材料高纯乙硅★烷的研发、成果转化及产□□□□业化。
研发的过程也□□并非一帆风顺。“一开始,我们曾尝试技□□□□术引进,打造了600m2的实验室,可两年试验却□□□□一直没有攻克□□□核心技术,最终我们意识□□到,真正具有市场○潜力的技术是□□□□买不来的。于是,我们破釜沉舟,开始自主研发,组建技术攻关□□□团队、研究国外文献、专利,反复调试试验,五加二、白加黑,对技术消化、吸收和再创新,最终,两年攻克了技□□□术难题。目前,我们的高纯乙□□□□硅烷制备技术,经过中国石油□□□和化学工业联□□□□合会组织科技□□成果鉴定,已达到国际先□□□□进水平,投产后可以实□□□□现高纯乙硅烷□□□□的国产化替代。”
下一阶段,万华电子材料将加□□□速推动高纯乙□□□□硅烷的产业化□□建设进程,不断研发包括“正硅酸乙酯、乙硼烷、锗烷”等其他电子特丨气,丰富产品结构,打造具有总承□□包能力的行业□□□领先企业,提升产业链关□□键配套材料本□□□土供应能力,实现关键核心□□技术自主可控,为中国“芯基建”贡献企业力量。